无尘车间
无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(CleanRoom)、无尘室。其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘车间以“每立方米空气中直径大于等于0.5um的灰尘粒的数量”为衡量其洁净度的标准。
“十万级无尘车间”表示“每立方米空气中直径大于等于0.5um的灰尘粒的数量少于10万个”。
十万级是指一英尺的空间内允许存在的0.5微米的尘埃粒子的个数在十万个以内。
1000-30万级净化室和100级以上的净化室不同，室内的气流是以不均匀的速度成不平行流动，伴有回流或涡流，它主要靠洁净的气流不断稀释室内的空气，将室内的污染逐渐排出，来实现净化。不同的净化等级，主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现。
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